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干式真空泵该怎样防止泵内出现颗粒物?

时间:2021-01-08 16:54

来源:未知

作者:Denair

点击:

      清洁、耐用、低噪音等优势是干式真空泵的标签,在半导体、化工等一些工况较恶劣的行业使用也越来越广泛。但在实际的应用中,干式真空泵也分接触型与非接触型,因此在处理一些含颗粒物气体过程中,并不是所有的干式真空泵都如皇冠滚球平台、罗茨真空泵等非接触型泵种一样对颗粒气体有良好的耐受性,而是需要通过过滤设备来予以解决。
 
      此外,即使是非接触型干式真空泵对颗粒性气体有良好耐受性,那我们为防止意外,也需要尽量避免介质在真空泵泵内由于化反或气固变相形成颗粒物。今天我们就来讲一讲,在干式真空泵应用中防止泵内出现颗粒物的解决方法:
 

 
      上图中就是颗粒物、可凝性气体在真空泵类凝结后会对泵造成的各种损伤。对此,除常规的过滤装置外,真空泵厂家对此总结的做法包括:
 
      1、适当提高泵温,可以避免一些介质在泵内压缩过程中发生气固变相形成颗粒物。
 
      2、降低会反应气体的浓度,这个方法也会用于泵内温度冷却,防止介质降解、聚合形成腐蚀性物质等,也可以防止介质达到着火极限等可能。
 
      3、增加抽气通道中的气流速度,具体方法与第2点相同,在不影响真空泵的极限压力的前提下,就是充入适量气体。

 

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