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超高真空与高真空系统设计分析

时间:2021-01-29 17:29

来源:未知

作者:Denair

点击:

 
      超高真空与高真空系统的对比,超高真空主要用于研究表面,热核反应,高能加速器,半导体研究,空间模拟等科学领域,由于这些现代科学的发展需要,大大促进了超高真空技术的发展。
 
 
      现代超高真空技术特点:
 
    
      1.真空装置容量大,达到上千平方米,并且达到的真空度高;
 
    
      2.测试手段复杂,除了测试真空度外,还包括质谱分析,低能电子衍射,电子谱等;
 
    
      3.材料选择用不锈钢代替玻璃,密封材料多半使用铜;
 
    
      4.用低温泵,各种钛泵代替油扩散,用无油真空替代了有油真空;
 
      超高真空与高真空系统设计有不少相同之处,主要有:管路的流导计算;壳体强度计算;主泵抽速计算及泵之间匹配选择;真空元件的清洁处理及检漏等。
 
      超高真空与高真空系统设计也有许多不同之处:选择真空泵的方法不同;对材料要求更为严格;密封结构和密封材料不同;采用了烘烤措施;焊接结构和方法不同;对漏率控制更为严格。
 
 

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